近日,中企昆山同兴达举办了首台SMEE光刻机搬入仪式。据悉,此次搬入仪式的SMEE光刻机是昆山首台金凸块封测光刻机,具有较强延展性,可实现与先进制程芯片相似功能。设备采用先进封测装技术,应用于集成电路封装技术及光电组件对外连接,属于集成电路产业重要组成部分。
深圳同兴达科技股份有限公司主要从事研发、设计、生产和销售LCD、OLED液晶显示模组和摄像头模组,在驱动IC应用领域深耕多年,是国内液晶显示模组龙头企业。昆山同兴达拓展了公司产业新赛道,主营半导体/芯片先进封装测试相关。此次建厂为半导体先进封装项目,计划于3月完成设备调试及开始样品试制,5月份开始量产。
为此,昆山同兴达购买了2台上海微电子光刻机,每台价格1800万元。该设备为金凸块封测光刻机,跟铜、锡凸块相比,金凸块封测技术以黄金为凸块材料,优势更大。明年8月项目达产后,产能将达到月产2万片全流程金凸块,生产规模在全国领先。
光刻机按用途可以分为前道光刻机和后道光刻机,封测用的后道光刻机精度较低,国产化率较高,上海微电子封测光刻机在国内市场的份额达到80%左右,全球市场也占40%。
随后,国内激光巨头大族激光也传出光刻机消息。大族激光表示,接近式光刻机已投入市场,步进式光刻机已启动用户优化。其中接近式光刻机一般用于制造微纳米级的半导体器件、生物医学微器件等。
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