8月9日，第十一届半导体设备年会在无锡召开。在大会分论坛之一的“半导体设备与核心零部件配套新进展专题论坛”上，多家国产半导体零部件厂商介绍了喜人的进展。

本次论坛上午部分由中国电子专用设备工业协会副秘书长叶乐志博士主持，下午部分由江苏鲁汶仪器股份有限公司董事长兼CEO许开东博士主持。

随着制程技术等半导体技术不断发展，全球半导体设备及零部件产业也跟随发展迭代，产业规模持续增长。SEMI预计，2024年全球半导体制造设备销售额有望重回1000亿美元水准，产业前景光明。

不过，当前全球半导体设备及零部件市场大多掌握在国际半导体厂商手中。

中导光电设备股份有限公司副总裁徐景瑞举例，全球半导体设备市场2022年度总额是1076亿美元，全球半导体设备Top5公司的市场占比是82%。其中，在检测设备市场，KLA一家独占67%的市场份额，光学主设备领域市场占比超80%；应用材料AMAT和Hitachi市场占比20%，主要是电子束检测设备。

随着晶圆厂新建产能推进，中国本土半导体设备市场增速将远高于全球。中国半导体及核心零部件的市场有多大？

富创精密董事长郑广文在《国产零部件的机遇与挑战》的演讲报告中指出，整机方面，2022年，中国国产装备达到了300亿元规模，2025年有望再翻一番；按照60%的零部件占比理论，零部件在装备端的需求是360亿元。产线运维方面，在Fab端月产5万片的产能，一年维护零部件的费用是6亿，中国规划产能到2025年转化成12英寸对应的标准，零部件的需求大约需300亿。如此，到2025年，中国半导体零部件的需求将超过600亿元，赶上装备整机的市场规模。

泓浒（苏州）半导体科技有限公司创始人&执行总裁林坚在演讲中介绍，一家晶圆厂新建产能就会有传送设备需求，初步测算，当前已披露所有新建晶圆产能对应Sorter的需求量有1600台，EFEM和VTM的预计量则分别是46000套和20000套左右。其中，传送系统的核心是大型洁净机器人，市场规模达到十几亿元。此外，洁净机器人在翻新市场也有约5亿元的年市场需求。

除了持续增长的整机市场，晶圆厂的运维市场正在快速增长，同样值得关注。

珠海诚锋电子科技有限公司副总经理武秉文举例，2022年中国大陆厂商直接采购零部件金额超过10亿美元，其中本土大厂，比如说中芯国际、华虹集团、长江存储、合肥长鑫等直接采购零部件金额约4.3亿美元。

众所周知，作为半导体产业的基石和金字塔尖，半导体设备及核心零部件代表了最高产业能力，同样也是中国半导体产业的最“短板”。可喜的是，本次论坛上，多家半导体设备、核心部件厂商的介绍，显示产业在多个领域有了可观的进展。

宣城品宙洁净科技有限公司总经理陶然介绍，公司已经自建了垂直一体化的全体系，产品范围覆盖了全系列ASTM/JIS标准管道管件，VIM+VAR、Hastelloy系列特种合金EP管道，可完整的提供半导体新建工厂全系列需求。

上海复享光学股份有限公司市场经理陆祺峰博士介绍，复享目前已经针对刻蚀工艺提供了全面监控的手段，包含OES方案和IEP方案，针对特定工艺完成了两种方案的联合判断。

北京通嘉宏瑞科技有限公司副总经理魏民介绍，在半导体真空泵领域，公司目前四大系列产品全面覆盖泛半导体行业所有应用。

中国电子专用设备工业协会副秘书长叶乐志博士介绍，在超声检测领域，苏州广联达的超声检测系统基本上做到了国产化的替代。在晶圆减薄方面，中电科、华海清科、沈阳和研和苏州京创都有了晶圆减薄机产品。

阿米精控科技（山东）有限公司执行董事闫鹏介绍，阿米精控今年承接了国内首条极紫外自由电子激光kb镜跨尺度对准稳定系统。

江苏鲁汶仪器股份有限公司粒子束刻蚀技术经理杨宇新介绍，鲁汶仪器目前算是国内唯一一个有离子束量产能力的厂家，目前已进入12英寸和8英寸的fab厂，线上稳定运行超过2年，单一客户端也有超过9万片的跑货量。

富创精密董事长郑广文介绍，当前，富创精密已经做到，在一条晶圆生产线上，除了加热和退火设备，其他环节设备上都有富创的零部件。

珠海诚锋电子科技有限公司副总经理武秉文介绍，其公司致力于为客户提供更专业化高性能的国产半导体检测设备。公司的CF980 Wafer六面检AOI设备，可以做到精度1-3微米的检测，检测耗时小于0.5秒，是行业首创的AI快速训练和建模方式。

中导光电设备股份有限公司副总裁徐景瑞介绍，中导光电致力于亚微米/纳米级的前道自动化光学检测设备研发，累计出货350台，均已在晶圆厂持续使用。

中国电子科技集团公司第十二研究所功能陶瓷中心主任赵世柯介绍，十二所研制出多款4/5/8/12英寸静电卡盘产品，并通过了用户上腔验证，产品介质材料体系覆盖玻璃陶瓷、氧化铝、氮化铝等库伦型和J-R型产品，应用产品覆盖薄膜、沉积、刻蚀、量测等领域。去年，十二所启动了陶瓷加热器研究，目前材料体系研发已取得突破，电阻率指标满足600摄氏度条件下的使用要求。

此外，史陶比尔（杭州）精密机械电子有限公司北方大区销售经理杨智斌、TE Connectivity传感器事业部亚太区业务拓展负责人郑婷婷、科慕化学（上海）有限公司亚太区技术服务经理何彦祯、颇尔（中国）有限公司产品经理刘亚文、上海金桥临港综合区投资开发有限公司副总经理陈婷雯、北京超凡知识产权管理咨询有限公司副总经理马志勇博士均做了演讲分享。