二手半导体制造设备在供应链中的作用是什么，当前中国半导体二手设备产业发展现状如何，代表厂商重点发力哪些领域，他们对于未来的发展有何思考?

8月11日，第11届半导体设备年会的二手设备产业交流合作论坛上，多位行业嘉宾分享了演讲报告，并以圆桌对话的形式，对上述问题进行了深入的交流和分享。上海广奕科技董事长王作义主持了本次论坛。

什么是二手半导体设备？——晶圆制造分为先进工艺和成熟工艺，厂商不断向先进工艺进发时，成熟工艺的设备就会被替换为新设备，而这些被替换出来的设备，就会作为二手设备流向市场。

盈球半导体科技有限公司中国区总经理陈真指出，“由于晶圆制造中的成熟工艺和先进工艺是一个动态的过程，因此二手设备也会源源不断地产生。”

关于一些二手设备的“误解”。他强调，“二手设备不等于被废弃的设备，它只是在半导体设备生态链中被替换下来，继续投入到传统工艺或者成熟制程的生产当中去，只是应用场景发生了转换。”

在演讲报告中，陈真总结谈到了二手设备的作用：节约Fab厂的开支成本、填补国内市场的空缺、助推耗材和零部件等的国产替代进程。

刘宇龙在圆桌对话里提到，现在国内二手设备的使用主要以国际主流的品牌、型号为主，这些设备经过反复工艺验证，可以极大程度的规避新生产线从设计到量产整个过程中的很多“坑”。

“设备原厂停止一些传统工艺的新设备制造，这也为二手设备的发展腾出了空间”，陈真在报告里结合二手设备的性能特别指出，“二手设备长期工作在恒温恒湿高洁净度的环境中，如能维持稳定有效，其使用寿命非常长”，“二手设备的交付价格为设备全新时期的70%或者更低。因为是存量设备，三到四个月整备时间之后就可以交付给到终端用户”。

采购成本较低、产品成熟、交货等待期短、使用周期长等特点是二手设备活跃在市场上的原因，从这些特点中也能窥见二手设备的市场机遇。

对于市场挑战，陈真表示，“二手设备的存量会不断增加，生命周期很长，如何提供全周期的供应链服务，这是我们应该思考的问题”。

从新设备到二手设备，一定时间之后原始的零部件跟材料供应链会中断，这些存量设备怎么办？陈真总结道，需要开发与之相应的零部件、材料的供应链，甚至于在原有的平台上开发出新的工艺，新的研发以促进设备的升级改造，来适应新的应用。

上海健照半导体科技有限公司总经理杨伟才表示，第一，我们要走自主创新之路，从零部件开始，积累经验和资源再去做整机；第二，上下游应精准对接需求，高效配合，充分发挥产业链的作用；第三，加强关注知识产权的保护。

杨伟才在报告中表示，健照半导体的定位就是二手光刻机的翻新、安装和调试。自公司创立以来，装机量已实现20多台，作为纯技术的公司，利润也相当可观。“公司未来将主要对一些零配件镜头进行投入，包括技术和经济上的投入。特别是在研发方面，争取早日实现光刻机缩小镜头的零的突破。”杨伟才表示，二手设备厂商要提高自己的技术能力，特别是再制造和研发的能力。

陈真对于健照半导体在开发软件的技术追求表示认同，“二手设备比较关键的问题是控制系统的问题，也就是软件问题，这里面还涉及知识产权。二手设备厂商可在控制系统部分加大投入，研发出我们自有的国产控制系统。”

上海赛瑾精密科技有限公司总经理姚庆利在演讲中强调，在光刻机领域，中国二手设备厂商要加大技术研发力度。“第一，结合国产化大潮，加快技术的进阶，扩大二手光刻机市场。第二，依托光刻机二手翻新业务，拓展整线设备的翻新业务，可兼顾其它设备。第三，依托二手翻新进行的技术积累，研发国产的光刻机。第四，依托二手翻新业务，依托市场资源和技术沉淀，发展光刻机配套业务以及其它的设备研发、产品的研发。”

姚庆利补充介绍道，“当前，二手设备市场光刻机领域，中国厂商仍要努力实现自研，特别是要注重研发零部件，积极地拥抱国产化的浪潮，在“卡脖子”这一背景之下，这是现实使然，也是使命所在。”

上海广奕电子董事长王作义对姚庆利的看法与做法表示深有共鸣。“广奕电子定位在为芯片制造客户提供设备总包。自2007年以来，广奕电子采取‘设备交钥匙工程’的服务模式。当前，服务模式从过去的‘二手设备为主’变成‘二手设备+新设备’的模式，同时公司也开始投入研发一些新的国产设备”，“将来的重点还是要落在国产新设备上。国产新设备的制造，路径肯定是引进、消化、吸收、创新的路子。除光刻机、注入机外，其它设备会逐步采用新设备，提供给客户的还是交钥匙工程模式。”王作义说道。

二手设备有着可节省投入资金、建设周期短等优势，放在二手设备最大的应用市场中国来说，与会嘉宾认为，二手设备于中国的芯片产业起到了重要的作用。

一是帮助提升我国芯片自给率。目前中国的成熟制程应用端市场规模很大，二手设备的市场流向是成熟和传统工艺的应用，二手设备可以迅速地补充传统工艺制程产能，为产业快速扩张可以做支撑，“同时还可以引入一些卡脖子设备，比如光刻设备，还有等级相对高的量测，离子注入，甚至一些薄膜沉积、刻蚀的设备等”，陈真说道。

二是帮助中国半导体生产厂商对国外厂商的追赶。“二手设备最主要的两点，第一是性价比，第二是交货时间”，杨伟才说道。新设备的出货交货期往往较长，很多生产项目因此受到了限制。而二手设备可以很快交货，帮助厂商建设生产线。在追赶生产效率占领市场上，二手设备做出了一定的贡献。

三是帮助培养更多懂设备的人才，助力设备国产化的研发。二手设备市场越广阔，从业人数就越多，从业者对市场、设备、应用等就越来越熟悉和了解。国产化进程中，不乏从涉猎领域到熟知市场再到学习创新的案例。“很多二手设备厂商现在转型开始做设备厂商”姚庆利说道，“不限于光刻机，还有PVD、CVD等，技术沉淀能力强了，都开始做国产化了，这也是二手设备带来的利好”。

技术、市场、资本，三者对于产业发展和企业自身发展都有着密切联系，缺一不可。

关于二手设备企业借力资本获得发展，谈到企业上市问题，上海上股交金融服务中心总经理张银分享了股权结构合理、交易过程合规，财务管理制度完善等需要注意的问题，并强调道，“核心的技术和知识产权、企业持续经营能力需要重点关注”。此外，关于未来的资本市场路径，她表示企业可以并购重组，优缺互补，合力上市。