近日,北京天科合达半导体股份有限公司(以下简称“天科合达”)第三代半导体碳化硅衬底产业化基地建设项目开工仪式举行。
资料显示,第三代半导体碳化硅衬底产业化基地建设项目是天科合达自筹资金建设的用于碳化硅晶体衬底研发及生产的项目,总投资约9.5亿元人民币,总建筑面积5.5万平方米,新建一条400台/套碳化硅单晶生长炉及其配套切、磨、抛加工设备的碳化硅衬底生产线,项目计划于2022年年初完工投产,建成后可年产碳化硅衬底12万片。
北京天科合达半导体股份有限公司总经理杨建表示,目前第三代半导体行业正处于蓬勃发展的阶段,近两年国家对第三代半导体产业高度重视,天科合达公司作为国内领先的碳化硅晶片生产企业和全球主要碳化硅晶片生产企业之一,该项目在大兴区黄村镇顺利开工建设,标志着北京市SiC衬底材料和器件的产业进程将进一步加速发展,对于促进我国碳化硅半导体产业延伸,引领第三代半导体产业发展具有重要的示范意义。
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